薄膜

要望に応える 薄膜をオーダーメードで

薄膜

Thin-film Technology

光学薄膜製品から薄膜メタライズまで、多様な成膜技術によって、ガラス、水晶、窒化アルミニウム、プラスチックなどの基板に、要望に沿った薄膜を形成することができます。薄膜の種類も、電極膜、導体膜、ハンダ膜、光学フィルター、高反射膜をはじめ多岐にわたり幅広いニーズに対応できるのも特徴です。例えばハンダ膜などは、お客様のニーズに合った溶け方をするようオーダーメードで特性を持たせます。また、基板形状については、4面までの立体面へ微細パターンが形成でき、高い評価を受けています。ほかにも反射膜の性能や耐久性をさらに向上させる技術開発などに加え、厚膜の技術も進展させています。

要素技術

  膜種 成膜方法 基材
金属膜 Au、Ag、Al、Cr、Ti、Ni、Sn、Pt、Cu、Pd、Ge、Si、Ag合金、その他2元合金を作製可 スパッタ、蒸着 AlN、Al2O3、SiC、Si、水晶、各種ガラス、各種樹脂、各種セラミックス
酸化膜・窒化膜・フッ化膜 SiO2、TiO2、Al2O3、Ta2O5、Nb2O5、Y2O3、ZrO2、TiOx、SiNx、TiNx、AlNx、MgF2 蒸着
電極膜・導体膜 Ti/Pt/Au、Ti/Ni/Au、Cr/Au、Cr/Ag スパッタ、蒸着
はんだ膜 AuSn, AgSn, Sn 蒸着
光学フィルター 反射防止膜(AR)、反射ミラー、UV/IRカットフィルター、ダイクロイックミラー、偏光ビームスプリッター、NDフィルター、誘電体超多層膜ミラー、その他各種フィルター 蒸着 水晶、各種ガラス、Si
高反射膜 Alミラー、Auミラー、Agミラー 蒸着 AlN、Al2O3、SiC、Si、水晶、各種ガラス、各種樹脂、各種セラミックス
装飾膜 各種金属+酸化膜・窒化膜 蒸着
有機膜 撥水・撥油コート 蒸着
抵抗膜 TaNx スパッタ

その他、要望に応じて各種コーティングに対応します。

この技術を使った製品

保有設備

蒸着機

詳細について

実施例などについては、下記PDFファイルをご参照ください。

技術紹介:薄膜 (PDF 形式:173KB)