薄膜サブマウント

薄膜磁気ヘッド（HDD・FDD)および光ピックアップ部品の製造で培った成膜技術と薄膜加工技術を応用し、セラミックスなどの母体となる基板材料に合わせた薄膜電極・薄膜抵抗・ハンダ膜などを高精度な微細回路パターンで形成することが可能です。また基板形状については、平板品はもとより立体面（２〜５面）への微細パターン形成が可能です。
半導体デバイスの小型化・高密度化に対応するために必要な立体基板への配線接続パターンは固有の技術として注目されています。

アプリケーション

・レーザーダイオード（LD）素子実装用サブマウント基板
・発光ダイオード（LED）素子実装用サブマウント基板
・フォトダイオード（PD）素子実装用サブマウント基板

派生品

・検体プレート
・ガルバノスキャナーミラー

• デバイスの技術