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お電話はこちら - 御代田事業所 0267-31-1133 ※受付時間 8：30～17：30（土・日・祭日を除く）
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幅広い技術力と一貫生産が可能。
一貫生産だからこそ隅々まで目が届き、高い品質・価格・納期（QCD)を
保つことができます。
加えてお客様のニーズに対して最適なソリューションをご提案できます。
一貫生産対応
試作段階で多種多様な提案が可能
対応技術範囲を更に広げる努力と、お客様と一体となった新規開発製品対応。
一品一品の開発試作から大量量産まで多種多様なご要望に対応いたします。
薄膜磁気ヘッド（HDD・FDD)及び光ピックアップ部品の製造で培った成膜技術と
薄膜パターニング技術や精密加工技術を融合させ作り上げた独自加工技術。
セラミックスなどの母体となる基板材料に合わせた薄膜電極・薄膜抵抗・はんだ膜などを高精度な微細回路パターンで形成することが可能です。
LD・LED業界を陰で支える製造・技術力を磨き、さらに進化を続けるシチズン
ファインデバイスの薄膜技術に、今後もご期待ください。
アプリケーション
- ・レーザーダイオード（LD）素子実装用サブマウント基板
- ・発光ダイオード（LED）素子実装用サブマウント基板
- ・フォトダイオード（PD）素子実装用サブマウント基板
派生品
- ・検体プレート
- ・ガルバノスキャナーミラー
最適なソリューションに向けた取り組み
シチズンファインデバイスでは、試作段階でのお客様とのコミュニケーションを大切にしております。
金属薄膜の種類、ドライエッチング、ウエットなどのパターン製法、基板の厚さや面粗さなど色々なニーズに合わせて、お客様に合ったものをご提案させていただきます。
以下は設計参考例となります。ご参照ください。
AINサブマウント標準寸法
※標準寸法範囲を超える場合については、ご相談ください。
デバイスの技術
成膜・パターニング
成膜
光学薄膜製品から薄膜メタライズまで、多様な成膜技術によって、ガラス、水晶、セラミックス、シリコンなどの基板に、
要望に沿った薄膜を形成することができます。
| 膜種 | 成膜方法 | 基材 | |
|---|---|---|---|
| 金属膜 | Au、Ag、Al、Cr、Ti、Ni、Sn、Pt、Cu、Pd、Ge、Si、Ag合金、その他2元合金を作製可 | スパッタ、蒸着 | AlN Al2O3 SiC Si 水晶 各種ガラス 各種樹脂 各種セラミックス |
| 酸化膜・窒化膜・ フッ化膜 |
SiO2、TiO2、Al2O3、Ta2O5、Nb2O5、Y2O3、ZrO2、TiOx、SiNx、TiNx、AlNx、MgF2 | 蒸着 | |
| 電極膜・導体膜 | Ti/Pt/Au、Ti/Ni/Au、Cr/Au、Cr/Ag | スパッタ、蒸着 | |
| はんだ膜 | AuSn, AgSn, Sn | 蒸着 | |
| 光学フィルター | 反射防止膜（AR）、反射ミラー、UV/IRカットフィルター、ダイクロイックミラー、偏光ビームスプリッター、NDフィルター、誘電体超多層膜ミラー、その他各種フィルター | 蒸着 | 水晶 各種ガラス Si |
| 高反射膜 | Alミラー、Auミラー、 Agミラー |
蒸着 | AlN Al2O3 SiC Si 水晶 各種ガラス 各種樹脂 各種セラミックス |
| 装飾膜 | 各種金属 ＋酸化膜・窒化膜 |
蒸着 | |
| 有機膜 | 撥水・撥油コート | 蒸着 | |
| 抵抗膜 | TaNx | スパッタ |
パターニング
クロムマスクのフォトリソグラフィーを用いて各種薄膜の高精度パターニングに
対応できます。
薄膜材料や製品用途にあわせてリフトオフ法とエッチング法を使い分けます。
さらにエッチング法ではウエットとドライが選択できます。
研磨（ラッピング・ポリシング）
水晶ブランク、薄膜磁気ヘッド、光学ガラス加工で培った片面及び両面研磨技術をセラミックス材料へ応用することで高精度研磨加工を実現して
おります。
AlN研磨は、4インチ、厚さは150μｍ、面粗さはRa0.05μｍ以下での対応が可能です。
薄膜サブマウントについて様々なご提案が可能です。
是非一度お問い合わせください。
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薄膜サブマウントについての事例
社名：非公開 業界：通信業界
サブマウントについての悩みについて
お客様は、サブマウントに対しての経験や知識が浅く、探し当てたサブマウントメーカーとのビジネスにおいて、 対等に話ができずメーカーからの提案でほとんど仕様決めを行ったことで、後から不具合が出るなどの問題があった。 当社は当時サブマウントの拡販活動を行っており、お客様のホームページから資材調達提案で技術アピールを行ったところ、お会いしていただける事になりました。
営業（ヒヤリング）～製品もしくはソリューションの内容について
お客様の悩み事やご要望に対して、一つ一つ細かく技術的な説明や検討を行い、その場でご提案できることについては 提案いたしました。課題や新規開発要素部分につきましては、スケジュールを立て、試作品を流動させ確認実験を 行いました。その結果から、仕様書を作成し再度打ち合わせを持たせていただき、十分に理解していただいたうえで仕様書を完成させました。
評価品サンプル作製～納品、評価、価格について
仕様書に基づき評価用試作品を作製し納品いたしました。評価の中で改善が必要となったところは、改善を実施し再納品いたしました。同時に提出しました見積もりにつきましては、他社数社と比較しても安いので当社から購入するメリットは大きいと評価いただきました。評価も合格をいただき量産が決定いたしました。
金額感について
他社よりも安かったといただきました。
納期について
お客様の希望納期に間に合わせることが出来ました。
お客様の声
量産となり課題が発生しましたが、お客様と密にコミュニケーションを取ることで解決しました。お客様からは、レスポンスが良い！対応力が良い！頻繁に訪問してくれ悩みを聞いてくれる。と、非常にありがたいお言葉をいただきました。
シチズンファインデバイスでは多様な仕様を持つサブマウントの
生産について柔軟な対応が可能です。
まず一度お問い合わせください。
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薄膜サブマウントについてのよくある質問
金属薄膜はどのような金属ですか
Ti , Pt , Au , Ni , TaN 等
金属などで、どのような膜を作れますか?
反射、反射防止、遮光膜、撥水膜など
半田の組成は？（種類）
お客様の要望に応じて相談可能です。
どのような方法で膜を作りますか？
蒸着、スパッタ、メッキ
パターンについてどういった工法ができますか？
ドライエッチング、ウエット、リフトオフなどが
あります。
一部工程のみ受けてもらえますか？
要相談となります。
基板はどんなものが用意できますか？
アルミナ、AlN、Si、SiC、ビア基板など対応可能です。
ＰＯＬ面粗さどれくらいでしょうか？
Ｒａ０．０５μｍ以下となります。
装置はどのようなものがありますか？
両面ラップ機、ダイサー、蒸着機、スパッタ機、 ミリング装置、レーザーマーキング、プラズマ エッチング装置、ブラストマシン…
ＲＴＡ試験機、ＥＤＸ、蛍光Ｘ線分析装置
基板の大きさ、厚さ、形状を教えてください。
AlN4インチ、Si6インチとなります。
主な販売先について教えてください。
大手LDメーカー、LDアッセンブリメーカー、 医療メーカーが中心となっております。
AlNの熱伝導率は？
170、230W／m・K
※上記以外はお問い合わせください。
ガラスにも金属膜を着けられますか？
可能です。
※膜構成によっては要相談
納品は基板単位でしょうか？個片でしょうか？
どちらも可能です。
基板を支給しての対応は可能ですか？
対応可能です。
中華圏のお客様につきまして
中華圏のお客様のお問い合わせにつきましては、台湾連絡事務所にご相談下さい。
CFD台湾連絡事務所
802 台灣高雄市苓雅區中山二路 483號9樓之7
TEL 886-7-537-9502
886-7-537-9503
FAX 886-7-537-9880
Johnny Chiang (江志超)
johnnytt@ms39.hinet.net
Jon Chiang （江柏昇）
Jon@cfdco.tw
難易度の高いサブマウントの生産も相談次第では可能となります。
是非一度お問い合わせください。
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